COBIT 5 помогает измерять зрелость IT-процессов через процессную модель и метрики. Для каждого из 34 процессов определены ключевые практики и виды деятельности, которые характеризуют различные уровни зрелости. Метрики, привязанные к каждому виду деятельности, позволяют количественно оценить текущий уровень выполнения процесса. Сравнение фактических значений метрик с целевыми показывает, насколько процесс зрел и где необходимы улучшения. ISACA, как разработчик COBIT 5, также предоставляет модели оценки зрелости, основанные на аудиторском опыте. Это позволяет организациям benchmarking — сравнение своей зрелости с лучшими практиками.