Критические факторы успеха (CSF) в ITILv3 представляют собой условия, которые должны выполняться, или действия, которые должны происходить, чтобы можно было утверждать, что процесс достигает успеха. Каждый процесс, описанный в пяти книгах ITILv3, имеет свои конкретные CSF и примеры ключевых показателей эффективности (KPI), которые формулируются на их основе. CSF служат основанием для определения, при каких условиях процесс можно считать успешным или неуспешным.